陽極處裡

陽極處理的目的是應用於AL合金材質，工件置於陽極，在低溫的電解液中。再施以電流讓鋁合金的表面生成一層硬度極高的氧化皮膜。讓鋁材表面產生氧化成皮膜技術的一種，以防止鋁材過度氧化，可延長增加客戶零件上機PM週期。
 

優點

陽極皮膜層具有增加硬度、耐製程氣體腐蝕、耐接觸磨耗、絕緣抗電壓等特性。
陽極皮膜層也相較更為緻密，能有效降低上機paticle發生機率。
 
 

應用
 

IC/DRAM/LCD/LED/Solar…產業設備機組。
  ETCH、CVD、PHOTO等製程零組件。
 基材：鋁合金(AL)5052、6061…。
 鍍層：草酸、硫酸等硬膜處理。